半导体xrd检测机构-北京半导体xrd检测

半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

结构精修通常分为两个步骤：先通过标准样品的测量，半导体xrd检测，校正仪器精度；然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。

仪器角度校正

选用标准硅样品，用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为：

(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后，选择菜单“---yze-theta calibration  f5”命令，在打开的对话框中单击calibrate，显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。

(2) 单击“save curve”命令，将当前角度补正曲线保存起来。

(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样，当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。

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无i---检索就是对图谱不作任何处理、不规定检索卡片库、也不作元素限定、检索对象选择为主相（s/m focus on major phases）。

这种方法一般可检测出样品中的主要的物相。在对样品无任何已知信息的情况下可试着检索出样品中的主要物相，进而通过检索出来的主要物相了解样品中元素的组成。另外，在考虑样品受到污染、反应不完全的情况可试探样品中是否存在未知的元素。但是，这种方法不可能检索出全部物相，并且检索结果可能与实际存在的物相偏差较大，需要其它实验作进一步证实。

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