半导体研究所-重庆xrd掠入射(gixrd)检测

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备，所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和，非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。

即xc=pic;xa=qia

则:xc=ic(ic+kia)x100%

注意：ic为晶体部分的衍射积分强度，ia为非晶部分的衍射积分强度。k=q/p，是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子

由上式已知，若温度k也已知，则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言，k是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出k值，从而得出试样的结晶度。

相对结晶度

如果将k值取1则xc=ic/(ic+ia)，即为相对结晶度。

这个统计方法虽然不准确，重庆xrd掠入射（gixrd）检测，但对试样也存在择优取向，xrd掠入射（gixrd）检测实验室，且同晶相合非晶相的化学成分也相同，可认为，该法有比较意义。其实，得到结晶性相当麻烦，所以相对结晶度反而是比较常用的办法。

分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律：2d sinθ=nλ

注意:λ为x guang线的长度，n则为的正整数，即衍射级数

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解决的办法通常有3种：

(1) 换一张卡片试试

所谓结构精修，即以的某种物相结构为“初始值”进行反复地迭代修正，逐步逼近测量峰的位置。当所选卡片的峰位与测量峰位偏离太多时，因为“初始值”离真实值太远了，无法精修下去。如换张卡片，也就是改变初始值，则更容易精修。因为，换卡片只是改变初始值，所以并不影响精修的结果。

(2) 选择all sible reflecti

如果样品为单相，则可以不进行物相检索，在寻峰或拟合后直接选用全部衍射峰进行精修。另外，有时虽然unable to graft hkl‘s to peaks，但还是出现了精修的界面，选择all sible reflecti进行精修是可行的。

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