半导体xrd研究所-xrd晶粒尺寸检测实验室

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    2023-8-11

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xrd晶粒尺寸检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

能量分辨

是指检测器接收某一能量的(某---长射线的光),所输出脉冲信号的平均幅度与入射的能量成正比的特性。

闪烁检测器是各种晶体x射线衍射工作中通用性能好的检测器。它的主要优点是:对于晶体x射线衍射使用的x射线均具有---甚至达到100%的效率;使用---,稳定性好;此外,它和pc一样,具有很短的分辨时间(10-7秒数量级),因而实际上不必考虑由于检测器本身的---所带来的计数损失;它和pc一样,对晶体衍射工作使用的软x射线也有一定的能量分辨本领。因此通常x射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。





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微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图,但是测试区域需要大于等于0.5 mm,不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °,其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品(尺寸要求是长宽一般1-2 cm,厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的xrd,就可以用微区xrd来测试。

微区xrd原理跟一般xrd一样,只是beam很小是微米级,因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区xrd的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的xrd的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究,xrd晶粒尺寸检测平台,包括以下表征:样品上具有---梯度成份的小斑点,例如,污染物、夹杂物、矿物样品、---样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。



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指标化的过程是:对衍射谱寻峰或者拟合后,选择菜单命令“---pattern indexing”,贵州xrd晶粒尺寸检测,出现指标化的对话框,然后,单击go工具,会出现一个“待选结构”列表。后从列表中选择出一种正确的结构。

例如,al合金的高温衍射,原子受热影响,晶胞膨胀较大,使实测峰与pdf卡片衍射线位置相差较大,无法直接精修,必须先做指数标定。指数标定后会显示一个可能的指标化结果的列表,xrd晶粒尺寸检测实验室,当选择某一行时,会在主窗口显示该组指标对应的峰。注意观察选定的结构与实测谱是否一致。选择正确的指标化结果后就可进行结构精修,并能得到满意的结果。

总之,jade的功能非常---,界面友好,容易上手。但在使用过程中要注意方法和技巧,才能得到满意的分析结果。


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