半导体xrd检测实验室-半导体研究所-海南半导体xrd检测

半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction)，利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

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xrd测试作为常用测试之一，但仍有许多同学不太了解，

jade 是分析xrd数据的常用软件之一。使用jade 进行xrd物相分析的主要环节，包括：“文件导入--扣除背底--（平滑）--检索”。

方法一：直接将需要分析的文件拖向mdi-jade的图标，半导体xrd检测平台，即可打开。

方法二：依次--- “file -- read -- 选择要分析的文件 -- 打开”即可。

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并不是有了jade就能一定分析出是什么物相

jade是一个pdf卡片的检索程序，通过给定的条件从pdf卡片库中检索出“基本上符合条件的物相卡片”。但，这些卡片可能---不是你的样品中存在的物相，因为有些物相并没有相应的pdf卡片。这时候，jade就---为力了。这时，你多可以检索出与实际物相结构相近的卡片。