上海xrd掠入射(gixrd)检测-半导体xrd物相分析

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，xrd掠入射（gixrd）检测平台，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

jade通常并没有包含物相定量分析的模块。但是，可以通过jade计算出物相的衍射强度，进而进行物相分数的计算。但是，在计算过程中，有几个问题值得注意

衍射强度的表示问题

物相的衍射强度既可以用衍射峰的高度也可以用衍射峰的面积来表示。通过jade可以得到4种物相衍射强度的数据：寻峰峰高、寻峰面积；拟合峰高、拟合面积。而峰高和峰面积的关系是：面积=峰高*fwhm。

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无i---检索就是对图谱不作任何处理、不规定检索卡片库、也不作元素限定、检索对象选择为主相（s/m focus on major phases）。

这种方法一般可检测出样品中的主要的物相。在对样品无任何已知信息的情况下可试着检索出样品中的主要物相，xrd掠入射（gixrd）检测实验室，进而通过检索出来的主要物相了解样品中元素的组成。另外，在考虑样品受到污染、反应不完全的情况可试探样品中是否存在未知的元素。但是，这种方法不可能检索出全部物相，并且检索结果可能与实际存在的物相偏差较大，需要其它实验作进一步证实。

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