北京半导体xrd检测-半导体xrd薄膜测试

半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，半导体xrd检测实验室，主要---半导体产业发展的应用技术研究，半导体xrd检测测试，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction)，利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

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样品的结构精修是以某一结构为初始值进行修正的。具有步骤如下：

(1) 物相检索，半导体xrd检测服务，对物相的“初始结构”。

(2) 扣背景和kα2、对图谱作平滑处理。

(3) 物相衍射峰的拟合。如果样品中存在几个物相，则全部衍射峰都要参与拟合。

(4) 选择菜单“opti-cell refinement”命令，开始精修。

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