贵州xrd倒易空间(rsm)检测-半导体单晶xrd---

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

步进扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式）。试样每转动一步（固定的δθ）就停下来，测量记录系统开始测量该位置上的衍射强度。强度的测量也有两种方式：定时计数方式和定数计时方式。然后试样再转过一步，再进行强度测量。如此一步步进行下去，完成角度范围内衍射图的扫描。　　

用记录仪记录衍射图时，采用步进扫描方式的优点是不受计数率表rc的影响，没有滞后及rc的平滑效应，分辨率不受rc影响；尤其它在衍射线强度极弱或背底---时---有用，在两者共存时更是如此。因为采用步进扫描时，可以在每个θ角处作较长时间的计数测量，以得到较大的每步总计数，从而可减小计数统计起伏的影响。　　

步进扫描一般耗费时间较多，因而须认真考虑其参数。选择步进宽度时需考虑两个因素：一是所用接收狭缝宽度，步进宽度至少不应大于狭缝宽度所对应的角度；二是所测衍射线线形的尖锐程度，步进宽度过大则会降低分辨率甚至掩盖衍射线剖面的细节。为此，步进宽度不应大于尖锐峰的半高度宽的1/2。但是，也不宜使步进宽度过小。步进时间即每步停留的测量时间，若长一些，可减小计数统计误差，提高准确度与灵敏度，但将损失工作效率。

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同时存在晶粒细化与微应变

令k=1，作图，用小二乘法作直线拟合，则从直线的斜率可求出微观应变；而直线在纵坐标上的截距即为晶块尺寸的倒数。

晶粒尺寸与微观应变计算时应当注意的问题

首先，应当正确地判断样品的衍射峰宽化的原因。jade采用作图法，如果数据点基本上是在一条水平线附近，则应当只有晶粒细化的因素存在；若数据点保持在一条斜线附近，则表明有微应变存在。此时应进一步判断是否除微应变外是否还存在晶粒细化。

其次，测量前应当制作相应的仪器宽度曲线。测量仪器宽度曲线的样品应当是粗晶粒且无应变的粉末样品。仪器宽度曲线的测量应当与样品的测量条件相同。不同的测量条件可能导致不同的仪器宽度变化规律。

后，合适的拟合条件也是很重要的，不同的拟合参数可能会得到不同的计算结果。

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