xrd薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd分析与xrf分析的异同
1,用途不同。xrd是x射线衍射光谱,(x-ray diffraction ---ysis)是用于测定晶体的结构的,而xrf是x射线荧光发射谱,(x-ray fluorescence ---ysis)主要用于元素的定性、定量分析的,一般测定原子序数小于na的元素,定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。
2,原理上的差别:xrd是以x射线的相干散射为基础,以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的;
xrf则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(z-s),k,s是与线性有关的常数。因此,得出不同元素具有不同的x射线(即特征线)为基础对元素定性、定量分析的。
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x射线衍射的方向体现在xrd谱的横坐标,x射线衍射强度记录在xrd谱的峰强,解析xrd谱可以获得晶体结构、晶相晶系等的信息。
对无机材料测试研究、金属材料、纳米材料、超导材料、高分子材料等等应用领域都有---的应用。
x射线衍射对无机材料、金属的分析,常作的就是对材料的物相的定性分析,把对材料测得的点阵平面间距及衍射强度与标准物质物相的衍射数据相比较,确定材料中存在的物相是什么物相?晶体结构是属于立方晶体、四方晶体、六方晶体、三方晶体、正交晶体、三斜晶系、单斜晶系的那一种?空间点阵是14种空间点阵中的哪一种?
再进一步的就是进行x射线衍射物相定量分析,根据衍射花样的强度,确定材料中各物相的含量,作出含量比例的计算判断。
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xrd结晶度的测量方法:
1、纯样法,即把测定的物质的绕射硬度和该性质的百分之i一百的晶态试样(或者百分之i一百非晶态样品,原理相同)比较,可以得出该试样的结晶度。
以公式的形式表示则是:xc=ic/i0。
注意:xc为待测样品的结晶度,ic为待测样品的全部衍射峰的积分强度,i0为100%晶态的积分强度
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