半导体xrd薄膜测试-xrd小角度检测机构

xrd小角度检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线小角散射（small angle x-ray scattering，saxs）是通过收集x射线穿过样品之后产生的散射信号，来研究样品1~100 nm范围之内结构信息的技术。saxs对样品的形式没有特定要求，xrd小角度检测费用多少，块状，粉末和液体均可，但要求感兴趣的结构与周围环境有电子密度起伏，即衬度。

由于纳米颗粒形貌和尺寸会对其物化性能均会产生影响，xrd小角度检测分析，为了实现更的纳米颗粒形貌和尺寸的分析，以便---地利用纳米颗粒，采用更具有统计意义的saxs技术是个非常---的选择。首先利用tem对纳米颗粒形貌及尺寸进行初步分析，然后采集不同的纳米颗粒分散液的saxs数据，利用不同的形状因子（即，cube，sphere， 和superball）对数据进行分析得到了不同的p值。当p=1时，纳米颗粒为球形，当，纳米颗粒则为立方体。