xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律,参与衍射的晶面,其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上,如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角,通常用ψ表示。
依据布拉格定律,可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0,便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
s1,s2与s3为试样表面坐标轴,xrd物相分析检测实验室,s1由研究人员定义。图3为x射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律,这些晶面的应变是由o点的应力张量决定的,并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此,xrd物相分析检测平台,有可能依据这些的关系求得o点的三维应力,包括应力σφ。由弹性力学可以导出op方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说,xrd物相分析检测机构,x射线穿透---只有几微米至几十微米,因此通常假定σ33=0。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~xrd物相分析检测
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残余应力的产生
●残余应力是材料中发生了不均匀的弹性变形或不均匀的弹塑性变形而引起的,或者说是材料的弹性各向---和塑性各向---的反映
●单晶体材料是一个各向---体
●多相多晶体材料在宏观上表现出“伪各向同性”
●在微区,由于晶界的存在和晶粒的不同取向,弹塑性变形总是不均匀的
●冷热变形时沿截面弹塑性变形不均匀
●工件加热、冷却时不同区域的温度分布不均匀,导致热胀冷缩不均匀
●热处理时不均匀的温度分布引起相变过程的不同时性
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x射线小角散射(small angle x-ray scattering,宁夏回族自治xrd物相分析检测,saxs)是通过收集x射线穿过样品之后产生的散射信号,来研究样品1~100 nm范围之内结构信息的技术。saxs对样品的形式没有特定要求,块状,粉末和液体均可,但要求感兴趣的结构与周围环境有电子密度起伏,即衬度。
由于纳米颗粒形貌和尺寸会对其物化性能均会产生影响,为了实现更的纳米颗粒形貌和尺寸的分析,以便---地利用纳米颗粒,采用更具有统计意义的saxs技术是个非常---的选择。首先利用tem对纳米颗粒形貌及尺寸进行初步分析,然后采集不同的纳米颗粒分散液的saxs数据,利用不同的形状因子(即,cube,sphere, 和superball)对数据进行分析得到了不同的p值。当p=1时,纳米颗粒为球形,当,纳米颗粒则为立方体。
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