xrd倒易空间（rsm）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
轮廓仪是一种两坐标测量仪器，仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行，传感器的触针感受到被测表而的几何变化，在x和z方向分别采样，xrd倒易空间（rsm）检测分析，并转换成电信号，该电信号经放大和处理，再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中，计算机对原始表而轮廓进行数字滤波，分离掉表而粗糙度成分后再进行计算，测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标，xrd倒易空间（rsm）检测服务，或放大的实际轮廓曲线，测量结果通过显示器输出，也可由打印机输出。
而利用---的3d轮廓仪可以实现对硅晶圆的粗糙度检测、晶圆ic的轮廓检测、晶圆ic减薄后的粗糙度检测。
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残余应力的产生
●残余应力是材料中发生了不均匀的弹性变形或不均匀的弹塑性变形而引起的，或者说是材料的弹性各向---和塑性各向---的反映
●单晶体材料是一个各向---体
●多相多晶体材料在宏观上表现出“伪各向同性”
●在微区，由于晶界的存在和晶粒的不同取向，香港---行政xrd倒易空间（rsm）检测，弹塑性变形总是不均匀的
●冷热变形时沿截面弹塑性变形不均匀
●工件加热、冷却时不同区域的温度分布不均匀，xrd倒易空间（rsm）检测平台，导致热胀冷缩不均匀
●热处理时不均匀的温度分布引起相变过程的不同时性
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●衍射峰形处理
?对原始衍射谱线进行峰形处理，例如扣除背底强度、强度校正和kα双线分离等，以得到---的衍射峰形，有利于提高定峰精度。
?当衍射峰前后背底强度接近时(尤其侧倾测量方式)，不必进行强度校正。
?当kα双线完全重合时，即使衍射峰形有些不对称，也不需进行kα双线分离，此时只需扣除衍射背底即可，简化了数据处理过程。
●定峰方法
?应力测试，实质是测定同族晶面不同方位的衍射峰位角，其中定峰方法十分关键。
?定峰方法有多种，如半高宽中点法、抛物线法、法、高斯曲线法及交相关函数法。
?在实际工作中，主要根据衍射谱线具体情况，来选择合适的定峰方法。
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