xrd小角度检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
如何在origin上标记xrd图上的星号
1、选中卡片,然后双击-->;弹出的文本框即为标准卡片信息,从中可以看到晶面间距d,晶面指数(hkl)以及标准衍射峰位2 theta等信息-->;选中export,可以将标准卡片中的信息导出为txt文件。
2、从txt中找到标准谱图所需要的信息:2 theta和i(f)值,然后将其copy到origin里面,设置2theta 为x轴数据,i(f)为y轴数据,如图2所示
3、选中a(x1)和b(y1)做折线图,并对谱图进行优化(线粗细:3.0,类型:b-spline; 坐标轴线粗细:3.0,字体大小:28),得到zno的xrd谱图
4、---菜单栏中graph-->;new layer(axe) -->;(linked) top x + right y,添加新图层。然后右键---“图层2”-->; layer content, 将d(y2)添加为layer content
5、双击图层2中所出现的折线图,在弹出的plot o details菜单中,将plot type改为 scatter; ---右侧菜单中drop lines选项,勾选vertical,同时将线宽调整为3;再---symbol选项,xrd小角度检测报告,将size改为0
6、调整图层2的横坐标范围,使横轴范围与图层1一致;调整图层2的纵坐标范围,让标准卡片处于适合的位置;美化谱图,然后在图中注明标准卡片的编号
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●应力公式中不包含无应力衍射角2θ,给应力测试带来方便。
●式中偏导数项,实际是2θ与sin2ψ关系直线的斜率,采用小二乘法进行线形回归,求解出该直线斜率,代入应力公式中即可获得被测的三个应力分量。
为了获得x轴方向正应力σx,射线应在φ=0°情况下以不同ψ角照射试样,测试出各ψ角对应相同(hki)晶面的衍射角2θ值
为了获得y轴方向正应力σy,黑龙江xrd小角度检测,射线应在φ=90°情况下进行照射,测试出各ψ角对应的晶面衍射角2θ值。为了获得切应力分量txy,需要分别在φ=0°、45°及90°情况下进行测试。在每个入射方位角φ下,必须选择两个以上ψ角进行测试。所选择角ψ的数量,视具体情况而定。
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正如上面提到的,我们利用x射线衍射可以获得大量的关于薄膜的信息。在平常的测试中,我们获得的粉末衍射信号来自于平行于宏观平面的晶面信息。当我们测试薄膜时,必须要注意晶面的取向情况,xrd小角度检测服务,这时候需要调整x射线在样品的入射和反射的方向。
在通常的测试中一般是对称反射光路测试,但在有---取向的薄膜例如外延生长的薄膜时候,对称衍射并不合适。这时候我们就需要调整样品表面的倾斜来获得需要测试的晶面,我们称为非对称衍射。
有一种更为特殊的情况,当我们的晶面垂直于样品宏观平面生长时,也叫面内衍射,这些年随着测试技术的发展和仪器的精度越来越高,我们也可以实现对垂直于平面晶面进行表征。面内表征对于薄膜宽度方向的探究是非常重要的。
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