大功率xrd检测分析-半导体薄膜测试机构

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大功率xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

ψ角设置

?如果被测材料无明显织构，大功率xrd检测实验室，并且衍射效应---，衍射计数强度较高，在每一个φ角下只设置两个ψ角即可，例如较为典型的0°～45°法，这样在---一定测试精度的前提下，可以提高测试的速度，节省仪器的使用资源。

?一般情况下，在每个φ角下，ψ角设置越多则应力测试精度就越高。

?对于多ψ角情况的应力测试，ψ角间隔划分原则是尽量---各个sin2ψ值为等间隔，例如ψ角可设置为0°、24° 、35°及45°，这是一种较为典型的ψ角系列。

●辐射波长与衍射晶面

?为减小测试误差，在应力测试过程中尽可能选择高角衍射，而实现高角衍射的途径则是选择合适辐射波长及衍射晶面。

?由于x射线应力常数k与cotθ0值成正比，大功率xrd检测，而待测应力又与应力常数成正比，因此布拉格角θ0越大则k越小，应力的测试误差就越小。

?辐射波长还影响穿透---，波长越短则穿透---越大，参与衍射的晶粒就越多。

?选则高角衍射还可以有效减小仪器的机械调整误差等。