xrd掠入射(gixrd)检测费用多少-半导体单晶xrd---_广州其他分类

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xrd掠入射（gixrd）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

不同x射线残余应力测定方法的原理与应用

(1) sin2ψ法可以采用选取较大的ψ范围和较多的ψ站数进行残余应力测定，从而提高测试精度。cosα法采用单次---，ψ范围不够---造成较大的测量误差，xrd掠入射（gixrd）检测费用多少，具有局限性，有待于进一步完善。

(2)在基于sin2ψ法原理的测量方法中，与同倾法相比，侧倾法具有明显的---性。在被测点所处空间条件允许的前提下，应尽量采用侧倾法。对于某些零件的沟槽部位的残余应力测定，四川xrd掠入射（gixrd）检测，通常采用同倾法。

(3) 在残余应力的计算方法中，可真应变法。

(4) sin2ψ法作为一种标准的方法，xrd掠入射（gixrd）检测服务，ψ角的设置好采用sin2ψ值等分法，尽量多选择几个ψ角进行测量。

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布拉格定律

当一束具有一定波长λ的x射线照射到多晶体上时，会在一定的衍射角2θ上接收到反射的x射线强度---值(即衍射峰)，这便是x射线衍射现象，如图1所示。x射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在x射线衍射残余应力分析中，选用合适靶材的x射线管，即选定合适的波长λ，通过衍射装置测定衍射角2θ，就可以计算出相应晶面的晶面间距d。

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x射线衍射分析( x-raydiffraction ，简称xrd )，是利用晶体形成的x射线衍射，xrd掠入射（gixrd）检测分析，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。

仪器技术参数

小角衍小角可以达到0.4度，主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度，可以接收到小于10度的衍射峰。

(1 )测量精度:角度重现性+0.0001° ;测角仪半径***200mm ，测角圆直径可连续变

(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°c;

(3)大输出: 3kw ;稳定性: +0.01% ;管电压: 20~ 60kv(1kv/1step) ;管电流: 10~ 60ma。

送样要求

固体粉末:均均干燥，粒度小于70um (过200目) ，质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面，尺寸约为20mmx 10mmx 2mm

应用领域

物相分析，可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析，通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。

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