半导体研究所-内蒙古自治algan材料xrd检测

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    2023-5-21

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xrd峰强度高低说明什么

xrd峰强度高低说明相对背地强度高低,表示晶相含量,跟面积表示晶相含量一致。峰的面积表示晶体含量,面积越大,晶相含量越高。峰窄说明晶粒大,可以用谢乐公式算晶粒尺寸。

峰的强度低是xrd图谱的性质,内蒙古自治algan材料xrd检测,就是峰不是很尖锐,峰很钝,学名叫做宽化,这样反应的样品性质就是粒径很小,结晶度低是样品的性质,反映在图谱上就是有很大的噪音,图谱毛刺现象很重,需要平滑之后才能看。



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xrd小角度测试x 射线散射效益来自于物质内部1~100nm 量级范围内电子密度的起伏。对于完全均匀的物质,其散射强度为零。

当出现第二相或不均匀区时才会发生散射,algan材料xrd检测服务,且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。

xrd小角度测试x射线散射强度受粒子尺寸、形状、分散情况、取向及电子密度分布等的影响。

对于稀疏分散、随机取向、大小和形状一致,且每个粒子内部具有均匀电子密度的粒子组成体系,algan材料xrd检测价格, 对于不规则形状的粒子体系,其散射强度不同,表现为散射函数不同。

同样,具有一致取向的粒子构成的稀疏粒子体系与无取向的粒子体系的散射强度也不同。

xrd小角度测试x射线散射可测尺寸分布,回旋半径,相关距离,平均壁厚,分形维度,以及分数等,可提供变温(室温~230°c),原位拉伸散射测试。





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热波系统

---系统主要用来测量掺杂浓度。热波系统通过测量---在硅片上同一点的两束激光在硅片表面反射率的变化量来计算杂质粒子的注入浓度。在该系统内,一束激光通过气激光器产生加热的波使硅片表面温度升高,热硅片会导致另一束---激光的反射系数发生变化,这一变化量正比于硅片中由杂质粒子注入而产生的晶体缺陷点的数目。由此,测量杂质粒子浓度的热波可以将晶格缺陷的数目与掺杂浓度等注入条件联系起来,描述离子注入工艺后薄膜内杂质的浓度数值

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