xrd掠入射(gixrd)检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
sin2ψ法公式是基于布拉格定律和弹性理论推导出来的,弹性理论所涉及的对象被假定为均匀、连续、各向同性的介质。对于多晶金属材料来说,只有晶粒细小,没有织构,才近似满足这样的假定。
因为,衍射用的x射线对被测材料的穿透能力极低,大多在几微米或十几微米的---。因此,可以认为垂直于材料表面方向的应力分量均为零。只有在特殊加工(如强力的、大切削量的磨削)的条件下,致使主应力平面偏离试样表面,才可能出现τ13≠0,τ23≠0的情况。通常出现±ψ分叉情况,拟合曲线往往不具备椭圆属性,其实质应该是测角仪±ψ机构的系统误差造成的,因此无需过分强调椭圆拟合的---性。
综上所述,x射线衍射残余应力测定的实际可操作过程就是选择若干ψ角(或若干对±ψ 角)分别测定衍射角2θφψ,然后进行计算。关于如何安排ψ平面和2θ平面的空间几何关系、如何获取衍射曲线、如何进行计算等方面,学者们研究出了许多方法。
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表征光路及其需要用到的附件
在进行薄膜测试时,我们需要特殊的x射线衍射仪。当我们使用普通测试粉末衍射的---光束来进行物相分析时影响并不大,但是当我们需要评估薄膜时,使用平行光路就更为合适了。这时候我们就需要利用---的光路设计将发散的---光路转换为平行光路。
外延薄膜通常都是的结晶半导体化合物。为了表征其晶体也就是评估薄膜晶体的与否,这时候我们需要用到rocking curve即摇摆曲线来对薄膜进行评估。并且这时候我们需要在光路中设计一些元件来过滤掉cu靶辐射出来的cukα2和cukβ射线,仅有cukα1射线波长,广东xrd掠入射(gixrd)检测,从而提高光路的分辨率,防止别的x射线的干扰。
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同倾固定ψ0法
每次探测扫描接收反射x射线的过程中,xrd掠入射(gixrd)检测多少钱,入射角ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角ψ0来进行应力测试工作。
ψ与ψ0之间关系为:
ψ=ψ0+η
η=90°﹣θ
同倾固定ψ0法的ψ0角设置要受到下列---:
ψ0+2η< 90°
*** ψ0<2θ-90°
2η< 90°***2θ>; 90°
同倾固定法
在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定ψ角方向上,即保持ψ不变
测试时x=管与探测器等速相向(或相反)而行,每个接收反射x=时刻,相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角ψ,来进行应力测试工作。同倾固定ψ法的ψ角设置要受到下列条件---
ψ+η< 90°***ψ<0
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