algan材料xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,algan材料xrd检测平台,---重大技术应用的基础研究,甘肃algan材料xrd检测,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd图谱的峰位.峰宽,峰高,分别代表什么,假如知道待测物质,如何观察,和需要看些什么。
峰位:如果不知道待测物质是什么,通过峰位可以算出晶格常数,从而确定物质.如果已经知道了物质,算出的晶格常数应该跟你知道的物质的晶格常数差不多,差量可能是内应力引起的.可以据此分析内应力.
峰宽:如果是单晶,那就代表了结晶的好坏,多晶的话还跟晶粒的大小有关.
峰高:一般各峰的相对高度比较有参考价值,反映的是晶体取向度和织构的信息.
当然峰位、峰高和峰宽是要综合起来看的,而且跟多相,单相,有没有杂质,单晶还是多晶都有关系。
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半导体器件生产中,从半导体单晶片到制成终成品,须经历数十甚百道工序。为了---产品性能合格、,并有高的成品率,根据各种产品的生产情况,对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。因而,在生产过程中必须建立相应的系统和的监控措施,algan材料xrd检测价格,首先要从半导体工艺检测着手。
半导体工艺检测的项目繁多,内容广泛,方法多种多样,algan材料xrd检测实验室,可粗分为两类。类是半导体晶片在经历每步工艺加工前后或加工过程中进行的检测,也就是半导体器件和集成电路的半成品或成品的检测。第二类是对半导体单晶片以外的原材料、辅助材料、生产环境、工艺设备、工具、掩模版和其他工艺条件所进行的检测。类工艺检测主要是对工艺过程中半导体体内、表面和附加其上的介质膜、金属膜、多晶硅等结构的特性进行物理、化学和电学等性质的测定。其中许多检测方法是半导体工艺所特有的。
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、变通的办法在哪里?
为了得到计算公式里的系数,有人将系数分为两部分:一部分与样品无关,也与仪器无关的常系数。另一部分则与样品及测量条件有关。弄出来一个称为“k值法”东西。
具体方法是:如果要测量样品中的x相,则先用纯的x物质与纯刚玉(α-al2o3)按重量比1:1混合均匀,测量两者的衍射强度之比,这个比值称为这个物相x的k值。然后,在要测量的样品中加入一定量的刚玉粉(分数已知),再比这个加了“标样”的样品中待测相x与刚玉的衍射强度比。就能算出x相的含量。这里的麻烦是,为了要测x相的含量,必须得到x相的纯物质。它的计算公式就是ix/is=kxwx/ws。这里的x是要测量含量的物相,s就是称之为标样的东西,也就是刚玉。i,w分别指衍射强度和分数。
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