xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
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xrd即x-raydiffraction的缩写,x射线衍射,通过对材料进行x射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。x射 线是一种波长很短(约为20~0.06埃)的电磁波,能穿透一定厚度的物质,并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、*体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的x射线中,xrd薄膜检测,包含与靶 中各种元素对应的具有特定波长的x射线,称为特征(或标识)x射线。
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不同x射线残余应力测定方法的原理与应用
(1) sin2ψ法可以采用选取较大的ψ范围和较多的ψ站数进行残余应力测定,从而提高测试精度。cosα法采用单次---,ψ范围不够---造成较大的测量误差,具有局限性,有待于进一步完善。
(2)在基于sin2ψ法原理的测量方法中,与同倾法相比,云南xrd薄膜检测,侧倾法具有明显的---性。在被测点所处空间条件允许的前提下,应尽量采用侧倾法。对于某些零件的沟槽部位的残余应力测定,xrd薄膜检测费用多少,通常采用同倾法。
(3) 在残余应力的计算方法中,可真应变法。
(4) sin2ψ法作为一种标准的方法,ψ角的设置好采用sin2ψ值等分法,尽量多选择几个ψ角进行测量。
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xrd与eds有什么区别
sem,eds,xrd的区别,sem是扫描电镜,eds是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。xrd是x射线衍射仪,是用于物相分析的检测设备。
sem用于观察标本的表面结构,其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样 品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。
eds的原理是各种元素具有自己的x射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e,能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
xrd是利用衍射原理,测定物质的晶体结构,织构及应力,的进行物相分析,定性分析,定量分析。
说简单点,xrd薄膜检测价格,sem是用来看微观形貌的,观察表面的形态、断口、微裂纹等等;eds则是检测元素及其分布,但是h元素不能检测;xrd观察的是组织结构,可以测各个相的比例、晶体结构等。
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