xrd小角度检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
工艺检测的目的不只是搜集数据,更重要的是要把不断产生的大量检测数据及时整理分析,不断揭示生产过程中存在的问题,向工艺控制反馈,使之不致偏离正常的控制条件。因而对大量检测数据的科学管理,---其能够得到准确和及时的处理,是半导体工艺检测中的一项重要关键。同时半导体检测也涉及大量的科学仪器,针对于此,对一些半导体检测的仪器进行介绍。
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我们为什么能利用衍射谱来做物相的含量分析呢?
其原理就是基于物相的含量w与该物相的衍射强度成正比。
可以简单地写成w=ci。w是物相的分数,i是该物相的衍射强度。c是一个系数,但不是一个常系数。不过,xrd小角度检测报告,在一定条件下它是一个常数。---的是,xrd小角度检测机构,这个常数通常不能通过理论计算得出,而是需要通过实验来测量。每当实验条件改变(包括样品中的物相种类的改变、任一物相含量的改变、观察峰的改变、甚至于物相产地改变、所用辐射改变、晶粒尺寸改变……如此等等,不一而足)这个系数是变化的。
围绕如何想办法得到这个系数c,历代的---和小师推导出了十几种具体的测量方法。而这些方法又是在某种环境下能使用在另一种环境下不能使用的。每种方法的不同要求等于给实验方法本身加上了一把锁,使得人们不能真正好好地、简便地利用它。
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首先,x射线衍射方法只能证明一个物相的存在,而不能证明一个物相的不存在。
这是因为,x射线衍射强度是一个样品表面信息的统计结果。当一个物相的含量低于某一下限值(1%-10%左右,不同物相不同)时,xrd方法是不能检定一个物相的存在的。因此,如果你还想问“我的样品中有0.3%的zr,为什么在om,tem或sem中可以看到它的存在,为什么用xrd做不出来呢?”这样的问题,说明你对xrd还不了解。
其次,并不是有了jade就能一定分析出是什么物相。
jade是一个pdf卡片的检索程序,广西壮族自治xrd小角度检测,通过给定的条件从pdf卡片库中检索出“基本上符合条件的物相卡片”。但,这些卡片可能---不是你的样品中存在的物相,因为有些物相并没有相应的pdf卡片。这时候,jade就---为力了。这时,你多可以检索出与实际物相结构相近的卡片。
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