半导体xrd测试机构-xrd小角度检测

xrd小角度检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

步进扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式）。试样每转动一步（固定的δθ）就停下来，测量记录系统开始测量该位置上的衍射强度。强度的测量也有两种方式：定时计数方式和定数计时方式。然后试样再转过一步，再进行强度测量。如此一步步进行下去，完成角度范围内衍射图的扫描。　　

用记录仪记录衍射图时，采用步进扫描方式的优点是不受计数率表rc的影响，没有滞后及rc的平滑效应，分辨率不受rc影响；尤其它在衍射线强度极弱或背底---时---有用，在两者共存时更是如此。因为采用步进扫描时，可以在每个θ角处作较长时间的计数测量，以得到较大的每步总计数，从而可减小计数统计起伏的影响。　　

步进扫描一般耗费时间较多，因而须认真考虑其参数。选择步进宽度时需考虑两个因素：一是所用接收狭缝宽度，福建xrd小角度检测，步进宽度至少不应大于狭缝宽度所对应的角度；二是所测衍射线线形的尖锐程度，步进宽度过大则会降低分辨率甚至掩盖衍射线剖面的细节。为此，步进宽度不应大于尖锐峰的半高度宽的1/2。但是，也不宜使步进宽度过小。步进时间即每步停留的测量时间，若长一些，xrd小角度检测，可减小计数统计误差，提高准确度与灵敏度，xrd小角度检测平台，但将损失工作效率。

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xrd图谱显示石墨样品显示出两个主要衍射峰（2θ=26.36和44.32?)， 晶格间距分别为3.38?和2.04?。对于pan硬质碳样品，还观察到两个主要的宽而---的xrd衍射峰，表明pan硬质碳具有低结晶度的无定形结构。随着炭化温度的升高，衍射峰向小角度移动。对于碳化温度为1050℃样品，在24.78和43.29处的衍射峰观察到晶格间距分别为3.59 ?和2.09?。与石墨相比，pan硬碳的衍射角较小，相应的层间距较大，层间距相较于石墨变宽，为嵌入和去除锂离子提供了宽敞的通道。将所得pan硬质碳用作锂离子电池的负极材料，其初始容量为343.5 mah g?1，与石墨电极（348.6 mah g–1）的初始容量相等，初始库仑效率比石墨电---。并且pan硬碳电极在不同电流速率下表现出优异的循环稳定性和倍率性能。

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