大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
能量分辨
是指检测器接收某一能量的(某---长射线的光),所输出脉冲信号的平均幅度与入射的能量成正比的特性。
闪烁检测器是各种晶体x射线衍射工作中通用性能好的检测器。它的主要优点是:对于晶体x射线衍射使用的x射线均具有---甚至达到100%的效率;使用---,稳定性好;此外,它和pc一样,具有很短的分辨时间(10-7秒数量级),因而实际上不必考虑由于检测器本身的---所带来的计数损失;它和pc一样,对晶体衍射工作使用的软x射线也有一定的能量分辨本领。因此通常x射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。
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结构精修通常分为两个步骤:先通过标准样品的测量,校正仪器精度;然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。
仪器角度校正
选用标准硅样品,黑龙江大功率xrd检测,用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为:
(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后,选择菜单“---yze-theta calibration f5”命令,大功率xrd检测服务,在打开的对话框中单击calibrate,显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。
(2) 单击“save curve”命令,将当前角度补正曲线保存起来。
(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样,当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。
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不能精修的原因与解决办法
选择精修命令后,有时会出现“unable to graft hkl’s to peaks”的提示。表明不能进行精修。其原因有两种:一是有些拟合的峰没有对应的(hkl)标记。例如,测量铁素体的5条线,但检索pdf卡片只有前3条线,3条衍射线不能进行精修。二是衍射峰位相对于“选定结构 (标准卡片)”的峰位偏离太多。
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