广西壮族自治xrd晶粒尺寸检测-半导体xrd薄膜测试

xrd晶粒尺寸检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射，通过对材料进行x射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。得益于同步辐射光源自身具有光子高通量以及更高的准直性等优点，往往会得到更多、---的衍射信号，这对后续的数据分析提供了更多的可能性。原位xrd作为一种xrd的衍生测试手段，可以---的解决非原位xrd测试过程中的诸多问题，目前已在锂离子电极材料测试中得到了---的运用，能够实时检测电极材料。

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由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备，所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和，非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。

即xc=pic;xa=qia

则:xc=ic(ic+kia)x100%

注意：ic为晶体部分的衍射积分强度，ia为非晶部分的衍射积分强度。k=q/p，是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子

由上式已知，若温度k也已知，xrd晶粒尺寸检测报告，则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言，k是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出k值，从而得出试样的结晶度。

相对结晶度

如果将k值取1则xc=ic/(ic+ia)，即为相对结晶度。

这个统计方法虽然不准确，但对试样也存在择优取向，且同晶相合非晶相的化学成分也相同，xrd晶粒尺寸检测，可认为，该法有比较意义。其实，得到结晶性相当麻烦，广西壮族自治xrd晶粒尺寸检测，所以相对结晶度反而是比较常用的办法。

分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律：2d sinθ=nλ

注意:λ为x guang线的长度，n则为的正整数，即衍射级数

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