xrd倒易空间(rsm)检测机构-半导体薄膜测试机构

xrd倒易空间（rsm）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

能量分辨

是指检测器接收某一能量的（某---长射线的光），所输出脉冲信号的平均幅度与入射的能量成正比的特性。

闪烁检测器是各种晶体x射线衍射工作中通用性能好的检测器。它的主要优点是：对于晶体x射线衍射使用的x射线均具有---甚至达到100%的效率；使用---，稳定性好；此外，它和pc一样，具有很短的分辨时间（10-7秒数量级），因而实际上不必考虑由于检测器本身的---所带来的计数损失；它和pc一样，对晶体衍射工作使用的软x射线也有一定的能量分辨本领。因此通常x射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。

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