半导体薄膜测试机构----行政半导体xrd检测_广州其他分类

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半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

同时存在晶粒细化与微应变

令k=1，作图，用小二乘法作直线拟合，半导体xrd检测平台，则从直线的斜率可求出微观应变；而直线在纵坐标上的截距即为晶块尺寸的倒数。

晶粒尺寸与微观应变计算时应当注意的问题

首先，应当正确地判断样品的衍射峰宽化的原因。jade采用作图法，如果数据点基本上是在一条水平线附近，则应当只有晶粒细化的因素存在；若数据点保持在一条斜线附近，则表明有微应变存在。此时应进一步判断是否除微应变外是否还存在晶粒细化。

其次，测量前应当制作相应的仪器宽度曲线。测量仪器宽度曲线的样品应当是粗晶粒且无应变的粉末样品。仪器宽度曲线的测量应当与样品的测量条件相同。不同的测量条件可能导致不同的仪器宽度变化规律。

后，合适的拟合条件也是很重要的，不同的拟合参数可能会得到不同的计算结果。

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xrd图谱中某个衍射峰的峰高、峰宽和峰面积分别表示什么

首先要区别是什么物质的xrd图谱，比如单晶、多晶（粉末）等.

峰高：对多晶来说，峰高由同方向排列的晶面分布数量(texture)决定，即：若所有晶粒为同方向排列，则此时各个晶面的峰高要大于无规律排列的晶粒. 而同一图谱中不同峰高则是由每个峰对应的晶面数量决定.

另外，半导体xrd检测机构，如果样品不为纯晶体，而同时存在非晶体的情况下，不同xrd图像同一位置角度对应的峰高不同则反映了晶体成分的多少. 晶体化程度越高，相应的峰越高.

峰宽：一般分析多的数值是fwhm(半峰全宽). 峰宽受很多因素影响：从仪器角度说，因素为所用x射线的波长分布，即使是单色x射线也不完全只有确定波长；从多晶样品角度说，fwhm和晶粒大小成反比，即，晶粒直径越小对应的fwhm越大，---行政半导体xrd检测，具体计算可以参考scherrer equation.

峰面积：也称为integral intensity. 这个值同样不是由某单一值决定，和样品本身相关的量有：该峰对应晶面的数量，晶胞体积，晶粒体积，structure factor等.

以上只是粗略说明，具体情况还是需要具体分析.

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常见问题

q1、粉末样品量过少会有什么样的影响？

答：因为粉末样品要铺满整个样品台，样品量过少可能导致x射线打在样品台上，从而影响数据。

q2、为什么部分样品的测试结果中衍射峰强度较低，甚至没有明显的衍射峰？

答：样品的衍射峰强度主要跟自身结晶度有关，结晶度越好，衍射峰越明显，其次才是样品量和仪器功率。

q3、步长和扫描速度有何关联？扫描速度对样品的测量有何影响？

答：步长决定了扫描的精细程度，扫描速度是由步长和每步的时间决定的，每步的时间长短会影响衍射峰的强度和信噪比。每步的时间越长，步长越小，则谱越精细，信噪比越高，可用于定量计算，如xrd精修等。

q4、xrd定量的度如何？

答：xrd为半定量分析，定量测试结果度有限，仅供参考。

q5、为何有些样品的测试结果基线较高？能否---？

答：有荧光散射现象的样品，半导体xrd检测，如铁含量较高的样品，测试结果会出现基线较高的情况，这是无法---的。

q6、cu靶的波长是多少？

答：kα1=1.540538埃。

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