半导体xrd薄膜测试-xrd掠入射(gixrd)检测哪里可以做

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪的使用方法

（a）装填样品

按下衍射仪面板上的door按钮，指示灯闪烁、蜂鸣器发出报警声，缓慢的向右拉开衍射仪保护门。

将样品表面朝上安装到样品台上，新疆维吾尔自治xrd掠入射（gixrd）检测，此时注意尽可能的将样品置于载物台的中心位置。

向左轻拉右侧门，两门自动吸住后报警声停止。

（b）设置仪器参数

---桌面right measurement system图标，进入到软件控制界面

双击condition下面的1，进入到测量条件的设置界面，根据所测试样品要求，设置start angle（起始角）、stop angle（终止角）、scan speed（扫描速度）等参数（注意：一般扫描电压和扫描电流这些参数不要更改）

条件设置好以后，关闭条件设置界面，返回主界面（注意：在设置参数的时候，xrd的起始角一般是大于3°，终止角小于140°，否则会使测角仪的旋转臂撞到其他部件，xrd掠入射（gixrd）检测服务，使测角仪受到损坏。）

---browse按钮，进入到保存文件对话框，设置文件保存位置和样品名称后，返回主界面

（c）开始测试

在主界面上---executement，系统开始调整kv、ma值，此时弹出新的测量窗口，直到测量完成，测量数据自动保存在所设置为保存位置。

（d）数据存盘

一般为了防止u盘存在---，拷取实验数据需要光盘，下面是一个光盘流程

（e）关闭系统

在测试的时候根据实际情况，如果后面仍有学需要测试，在完成自己样品测试后，将自己的样品取出即可。如果没有人测试，则按照下面的流程来关闭x射线

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xrd分析与xrf分析的异同

1，用途不同。xrd是x射线衍射光谱，（x－ray diffraction ---ysis)是用于测定晶体的结构的，而xrf是x射线荧光发射谱，（x－ray fluorescence ---ysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般测定原子序数小于na的元素，定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。

2，原理上的差别：xrd是以x射线的相干散射为基础，xrd掠入射（gixrd）检测哪里可以做，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的；

xrf则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(z-s)，k，s是与线性有关的常数。因此，得出不同元素具有不同的x射线（即特征线）为基础对元素定性、定量分析的。

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