大功率xrd检测机构-半导体xrd测试机构

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    2023-8-1

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大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

防散射狭缝测角仪上用来防止一些附加散射(如各狭缝光阑边缘的散射,光路上其它金属附件的散射)进入检测器,有助于减低背景。防散射狭缝是光路中的辅助狭缝,它能---由于不同原因产生的附加散射进入检测器。例如光路中空气的散射、狭缝边缘的散射、样品框的散射等等。此狭缝如果选用得当,可以得到低的背底,而衍射线强度的降低不超过2%。如果衍射线强度损失太多,则应改较宽的防散射狭缝。

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结构精修通常分为两个步骤:先通过标准样品的测量,校正仪器精度;然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。

仪器角度校正

选用标准硅样品,用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为:

(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后,选择菜单“---yze-theta calibration  f5”命令,在打开的对话框中单击calibrate,显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。

(2) 单击“save curve”命令,将当前角度补正曲线保存起来。

(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样,大功率xrd检测费用多少,当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。


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转靶式管

这种管采用一种特殊的运动结构以---增强靶面的冷却,大功率xrd检测机构,即所谓旋转阳极x射线管,是目前实用的高强度x射线发生装置。管子的阳极设计成圆柱体形,柱面作为靶面,阳极需要用水冷却。工作时阳极圆柱以高速旋转,浙江大功率xrd检测,这样靶面受电子束轰击的部位不再是一个点或一条线段而是被延展成阳极柱体上的一段柱面,使受热面积展开,从而有效地加强了热量的散发。所以,这种管的功率能远---过前两种管子。对于铜或钼靶管,密封式管的额定功率,目前只能达到2 kw左右,而转靶式管可达90 kw。


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