xrd倒易空间(rsm)检测-半导体xrd薄膜测试

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    2023-7-17

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结构精修通常分为两个步骤:先通过标准样品的测量,校正仪器精度;然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。

仪器角度校正

选用标准硅样品,用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为:

(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后,选择菜单“---yze-theta calibration  f5”命令,在打开的对话框中单击calibrate,显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。

(2) 单击“save curve”命令,将当前角度补正曲线保存起来。

(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样,当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。


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单峰搜索法是jade很有特色的一种检索方法。当多数主要物相被检索出来,但还存在某几个衍射峰未归属时,这种方法---有效。其方法是:选择“计算峰面积(peak paint)”按钮,选定一个角度范围进行检索。

这种方法的特点是:

(1) 检索出来的物相是在角度范围内有衍射峰的物相;

(2) 可同时选择几个相似的衍射峰;

(3) 加上其它限定条件,可以检索出样品中全部物相。


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电子衍射和 xrd的区别



电子衍射是二维衍射和 xrd 是一维衍射,电子衍射和xrd的基本原理和衍射花样的几何特征相似,而且都遵循劳厄方程或布拉格方程。两者区别包括:

(1) 电子波的波长短,则受物质散射强(原子对电子的散射能比 x 射线强一万倍);

(2) 电子衍射强度大,xrd倒易空间(rsm)检测多少钱,要考虑它们之间的相互作用,北京xrd倒易空间(rsm)检测,使电子衍射花样分析,---是强度分析变得复杂,不能像 x射线一样从测量强度来广泛地测定晶体结构;

(3) 由于电子衍射强度高导---子穿透能力有限,因此较使用于研究微晶、表面和薄膜晶体;

(4) 当晶粒大小只有几微米,甚至几千埃的时候,不建议用 xrd 。


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