xrd掠入射(gixrd)检测实验室-半导体研究所

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

rir的取值问题

rir即当物相含量与标准物相含量相等时，两相的强度之比。由于pdf卡片数量逐年递增，因此，多数物相都可以通过pdf查到rir值。但是，在实际操作中存在一些问题：

同一物相有多张pdf卡片与之对应，而且rir值不同

例如，mgzn2这种物相就有多张卡片与之对应，它们的结构相同，但是，rir值略有不同，如何正确地选择合适的rir值是定量计算的关键问题。一般来说，虽然有多张pdf卡片与被测相相对应，xrd掠入射（gixrd）检测价格，但实际上在衍射峰位置和衍射强度匹配上存在较小的差别，因此，应当选择与实测物相较为吻合的pdf卡片，---是选择衍射强度匹配尽可能一致的卡片数据。

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样品成分的限定

样品元素限定是缩小检索范围的有效手段。因此，我们在进行x射线衍射物相分析之前应当先做样品的元素分析，只有这样，才能准确并且正确地检索出样品中的全部物相。

成分限定的要点是：

(1) 只选样品中的主要元素。

(2) 选择4个元素。当样品成分比较复杂，含有元素种类较多时，优先选择量多的元素，并且每次只选择不多于4个元素，否则，检索范围过大，会影响检索结果。

(3) 尝试非金属元素c，h，台湾xrd掠入射（gixrd）检测，o。有时，样品会发生吸潮、氧化、腐蚀，在按已知元素检索不出物相时，要考虑样品是否发生这种反应。

(4) 尝试不同的元素组合。由于衍射谱受固溶、择尤取向等影响，导致衍射峰位偏离正常位置或者峰强不匹配，在很多情况下，会有一些物相检索不出来，应当试探特定元素组合的存在。

当样品中元素种类太多时，检索结果可能不准确。因此，xrd掠入射（gixrd）检测实验室，应当反复检索几次，并对比几次的检索结果，然后才作出终的结论。

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