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xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

样品成分的限定

样品元素限定是缩小检索范围的有效手段。因此，我们在进行x射线衍射物相分析之前应当先做样品的元素分析，只有这样，才能准确并且正确地检索出样品中的全部物相。

成分限定的要点是：

(1) 只选样品中的主要元素。

(2) 选择4个元素。当样品成分比较复杂，含有元素种类较多时，青海xrd残余应力检测，优先选择量多的元素，并且每次只选择不多于4个元素，否则，检索范围过大，会影响检索结果。

(3) 尝试非金属元素c，h，o。有时，样品会发生吸潮、氧化、腐蚀，在按已知元素检索不出物相时，要考虑样品是否发生这种反应。

(4) 尝试不同的元素组合。由于衍射谱受固溶、择尤取向等影响，导致衍射峰位偏离正常位置或者峰强不匹配，在很多情况下，会有一些物相检索不出来，应当试探特定元素组合的存在。

当样品中元素种类太多时，检索结果可能不准确。因此，xrd残余应力检测多少钱，应当反复检索几次，并对比几次的检索结果，然后才作出终的结论。

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不能精修的原因与解决办法

选择精修命令后，有时会出现“unable to graft hkl’s to peaks”的提示。表明不能进行精修。其原因有两种：一是有些拟合的峰没有对应的(hkl)标记。例如，测量铁素体的5条线，xrd残余应力检测平台，但检索pdf卡片只有前3条线，3条衍射线不能进行精修。二是衍射峰位相对于“选定结构 (标准卡片)”的峰位偏离太多。

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结构精修通常分为两个步骤：先通过标准样品的测量，校正仪器精度；然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。

仪器角度校正

选用标准硅样品，用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为：

(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后，选择菜单“---yze-theta calibration f5”命令，在打开的对话框中单击calibrate，显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。

(2) 单击“save curve”命令，将当前角度补正曲线保存起来。

(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样，当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。

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