半导体xrd研究所-江西半导体xrd检测

半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

ecv又名扩散浓度测试仪，结深测试仪等，即电化学cv法测扩散后的载流子浓度分布。电化学ecv可以用于太阳能电池、led等产业，是化合物半导体材料研究或开发的主要工具之一。电化学ecv主要用于半导体材料的研究及开发，其原理是使用电化学电容-电压法来测量半导体材料的掺杂浓度分布。电化学ecv(cv-profiler， c-v profiler)也是分析或发展半导体光-电化学湿法蚀刻(pec etching)---的选择。

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半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，半导体xrd检测平台，以及行业应用技术开发。

采用x射线衍射法测定残余应力，早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出，把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法，使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。

x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展，开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。