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热波系统

---系统主要用来测量掺杂浓度。热波系统通过测量---在硅片上同一点的两束激光在硅片表面反射率的变化量来计算杂质粒子的注入浓度。在该系统内，一束激光通过气激光器产生加热的波使硅片表面温度升高，热硅片会导致另一束---激光的反射系数发生变化，这一变化量正比于硅片中由杂质粒子注入而产生的晶体缺陷点的数目。由此，测量杂质粒子浓度的热波可以将晶格缺陷的数目与掺杂浓度等注入条件联系起来，描述离子注入工艺后薄膜内杂质的浓度数值

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为了掌握x射线衍射残余应力测定技术，有---其方法进行归纳。

x射线衍射残余应力测定方法分类

(1) x射线衍射残余应力测定方法可分为sin2ψ法、cosα法。

(2) sin2ψ法按照残余应力计算方法分类，可分为2θ法、d值法、应变法。

(3) sin2ψ法按ψ与2θ的几何关系分类，可分为同倾法、侧倾法。

(4) 按x射线管、计数管扫描方式可分为固定ψ0法，固定ψ法。

(5) 侧倾法又可分为标准的侧倾法、修改的侧倾法、侧倾固定ψ法。

(6) 测定剪切应力τφ采用的正负ψ测定法。

(7) x射线衍射法一般是测方向的应力，也有点的主应力测定法。

(8) 摆动法可分为ψ0摆动法、ψ摆法、德拜环摆动法、φ角摆动法和x/y往复平移法等。

(9) 从衍射几何分类，有---法、准---法和平行光束法。