xrd掠入射（gixrd）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，吉林xrd掠入射（gixrd）检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
阴极荧光谱是利用电子束激发半导体样品，将价带电子激发到导带，之后由于导带能量高不稳定，被激发电子又重新跳回价带，并释放出能量e≤eg（能隙）的特征荧光谱。cl谱是一种无损的分析方法，结合扫描电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的分析工具。利用阴极荧光谱，可以在进行表面形貌分析的同时，研究半导体材料的发光特性，尤其适合于各种半导体肼、线、点等纳米结构的发光性能的研究。
例如，对于氮化镓单晶，由于阴极萤光显微镜具有高的空间分辨率并且具有无损检测的优点，因此将其应用于位错密度的检测已经是行业内广泛采用的方法。目前也制定了相应的标准。
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采用x射线衍射法测定残余应力，早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出，把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法，xrd掠入射（gixrd）检测测试，使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展，开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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侧倾法
侧倾法的衍射几何特点是平面与测角仪2θ扫描平面垂直。由于2θ扫描平面不再占据ψ角转动空间，二者互不影响，ψ角设置受任何---。优点:
·扫描平面与ψ角转动平面垂直，在各个ψ角衍射线经过的试样路程近乎相等，xrd掠入射（gixrd）检测报告，因此不必考虑吸收因子的影响；
·由于ψ角与2θ扫描角互不---，因而增大这两个角度的应用范围;
·衍射几何对称性好，有效减小散焦的影响，---衍射谱线的对称性。
缺点:
ψ角与2θ角占据互相垂直的两个平面，需要足够的空间。对角焊缝、齿根等的应力测试比较困难。
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