xrd倒易空间（rsm）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
残余应力及其产生
1. 类内应力
在较大的材料区域(很多个晶粒范围）内几乎是均匀的。与第ⅰ类内应力相关的内力在横贯整个物体的每个截面上处于平衡。与相关的内力矩相对于每个轴同样抵消。当存在的物体的内力平衡和内力矩平衡遭到破坏时会产生宏观的尺寸变化。
2.第二类内应力
在材料的较小范围（一个晶粒或晶粒内的区域)内近乎均匀。与相联系的内力或内力矩在足够多的晶粒中是平衡的。当这种平衡遭到破坏时也会出现尺寸变化。
3.第三类内应力
在的材料区域（几个原子间距）内也是不均匀的。与相关的内力或内力矩在小范围(一个晶粒的足够大的部分）是平衡的。当这种平衡破坏时，不会产生尺寸的变化。
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不同x射线残余应力测定方法的原理与应用
(1) sin2ψ法可以采用选取较大的ψ范围和较多的ψ站数进行残余应力测定，从而提高测试精度。cosα法采用单次---，ψ范围不够---造成较大的测量误差，具有局限性，有待于进一步完善。
(2)在基于sin2ψ法原理的测量方法中，xrd倒易空间（rsm）检测价格，与同倾法相比，侧倾法具有明显的---性。在被测点所处空间条件允许的前提下，应尽量采用侧倾法。对于某些零件的沟槽部位的残余应力测定，通常采用同倾法。
(3) 在残余应力的计算方法中，可真应变法。
(4) sin2ψ法作为一种标准的方法，ψ角的设置好采用sin2ψ值等分法，尽量多选择几个ψ角进行测量。
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薄膜样品在基底上以二维形式存在，通常在平行厚度方向或者面内方向具有---的各向---。因此，xrd倒易空间（rsm）检测费用多少，一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向，一个是沿厚度方向，另一个是面内方向（晶面垂直于宏观平面生长的方向）。我们对薄膜的表征包含晶格常数，晶格畸变，晶体取向以及晶粒尺寸等。此外，薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。
除上述外，x射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征，例如厚度，密度，粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。
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