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●衍射峰形处理
?对原始衍射谱线进行峰形处理，例如扣除背底强度、强度校正和kα双线分离等，四川xrd摇摆曲线检测，以得到---的衍射峰形，有利于提高定峰精度。
?当衍射峰前后背底强度接近时(尤其侧倾测量方式)，不必进行强度校正。
?当kα双线完全重合时，即使衍射峰形有些不对称，也不需进行kα双线分离，此时只需扣除衍射背底即可，简化了数据处理过程。
●定峰方法
?应力测试，实质是测定同族晶面不同方位的衍射峰位角，其中定峰方法十分关键。
?定峰方法有多种，如半高宽中点法、抛物线法、法、高斯曲线法及交相关函数法。
?在实际工作中，主要根据衍射谱线具体情况，来选择合适的定峰方法。
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由于材料存在织构，其sin2ψ曲线呈震荡型，选取的ψ角范围不同，得到的拟合直线的斜率和残余应力存在明显差异。在未知材料是否存在织构、晶粒是否粗大的情况下，不可选取较小的ψ范围和较少的ψ站数进行残余应力测定，否则会带来较大的测量误差。
对于sin2ψ曲线呈震荡型的织构材料，采用线性拟合未必是合理的，实际测量过程中，人们通常采用线性拟合的方式对这种震荡和测量误差引起的波动进行处理。关于ψ的范围，大达45°也未必合理，如果可以忽略穿透---的影响，采用的ψ角会更有利于获得较为正确的结果。
对于粗晶粒材料或存在织构的材料而言，尽量扩大ψ角的设置范围，可以通过±ψ角的测量来消除ε-sin2ψ非线性分布的影响。对于小二乘法拟合回归直线而言，若自变量的间距越大(ψ范围越大)，测量的数据越多(ψ站数越多)，则拟合所得到的直线的准确度越高，测试得到的数值就越---。也可以通过增加x射线的照射面积，或是采用摆动法增加参与衍射晶粒的数量来提高测试精度。
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薄膜材料就是厚度介于一个纳米到几个微米之间的单层或者多层材料。由于厚度比较薄，薄膜材通常依附于一定的衬底材料之上。常规xrd测试，x射线的穿透---一般在几个微米到几十个微米，这远远大于薄膜的厚度，导致薄膜的信号会受到衬底的影响。
另外，随着衍射角度的增加，x射线在样品上的照射面积逐渐减小，x射线只能辐射到部分样品，无法利用整个样品的体积，衍射信号弱。薄膜掠入射衍射（gid：grazing incidence x-raydiffffraction）---地解决了以上问题。所谓掠入射是指使x射线以非常小的入射角（＜5°）照射到薄膜上，小的入射角---减小了在薄膜中的穿透--- 。同时低入射角---增加了x射线在样品上的照射面积，增加了样品参与衍射的体积。这里有两点说明：gid需要的硬件配置；常规gid只适合多晶薄膜和非晶薄膜，不适合单晶外延膜。
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