大功率xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
薄膜厚度和界面结构的测定随着纳米材料的高速发展，纳米薄膜的研究也变得越来越重要。利用xrd研究薄膜的厚度以及界面结构也是xrd发展的一个重要方向。通过二维xrd衍射还可以获得物相的纵向---剖析结果，也可以获得界面物相分布结果。物质状态的鉴别不同的物质状态对x射线的衍射作用是不同的，因此可以利用x射线谱来区别晶态和非晶态。一般非晶态物质的xrd谱为一条直线，平时所遇到的在低2θ角出现的漫散型峰的xrd一般是由液体型固体和气体型固体所构成。
晶体物质又可以分为微晶和晶态，大功率xrd检测，微晶具有晶体的特征，但由于晶粒小会产生衍射峰的宽化弥散，而结晶好的晶态物质会产生尖锐的衍射峰。
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正如上面提到的，我们利用x射线衍射可以获得大量的关于薄膜的信息。在平常的测试中，我们获得的粉末衍射信号来自于平行于宏观平面的晶面信息。当我们测试薄膜时，必须要注意晶面的取向情况，这时候需要调整x射线在样品的入射和反射的方向。
在通常的测试中一般是对称反射光路测试，但在有---取向的薄膜例如外延生长的薄膜时候，对称衍射并不合适。这时候我们就需要调整样品表面的倾斜来获得需要测试的晶面，我们称为非对称衍射。
有一种更为特殊的情况，当我们的晶面垂直于样品宏观平面生长时，也叫面内衍射，这些年随着测试技术的发展和仪器的精度越来越高，我们也可以实现对垂直于平面晶面进行表征。面内表征对于薄膜宽度方向的探究是非常重要的。
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x射线光电子能谱仪以x射线为激发源。辐射固体表面或气体分子，将原子内壳层电子激发电离成光电子，通过分析样品发射出来的具有特征能量的光电子，进而分析样品的表面元素种类、化学状态和电荷分布等信息，是一种无损表面分析技术。
这种技术分析范围较宽，原则上可以分析除氢以外的所有元素，大功率xrd检测哪里可以做，但分析---较浅，大约在25~100 ?范围，不过其灵敏度高，测量精度可达10 nm左右，主要用于分析表面元素组成和化学状态，原子周围的电子密度，---是原子价态及表面原子电子云和能级结构。
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