半导体薄膜测试机构-云南xrd物相分析检测

xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，云南xrd物相分析检测，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

广角xrd和小角xrd的区别

xrd是x射线衍射仪的简称。其基本原理是:当x射线照射所测物质（晶体），相应晶面会产生衍射强度。随着发射x射线的转轴移动，不同角度的不同晶面会被完全扫描出来。从而根据布拉格方程2d sinθ=nλ，呈现出图谱。广角xrd一般指3°~80°，甚至是更高的度数，一般用来判断某种材料的物相，即是什么物质。而小角xrd一般是指0°~3°的测试范围，在该范围内对应的晶面一般是层间，即（00x）晶面，一般用来比较改性物质前后该晶面的层间距变化。

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●当材料中存在单向拉应力时，平行于应力方向的(hki)晶面间距收缩减小(衍射角增大)

●垂直于应力方向的同族晶面间距拉伸增大(衍射角减小)

●其它方向的同族晶面间距及衍射角则处于中间。●当材料中存在压应力时，xrd物相分析检测报告，其晶面间距及衍射角的变化与拉应力相反。材料中宏观应力越大，不同方位同族晶面间距或衍射角之差异就越明显，这是测试宏观应力的理论基础。●由于x射线穿透---较浅(约10μm)，材料表面应力通常表现为二维应力状态，法线方向的应力(σz)为零。φ及ψ为空间任意方向op的网个万位用，εφψ为材料沿op方向的弹性应变，σx及σy分别为x及y方向正应力。此外，还存在切应力τxy