xrd倒易空间(rsm)检测服务-半导体单晶xrd---_广州其他分类

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xrd倒易空间（rsm）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

测量原理

●x射线应力测定—用x射线衍射技术来测定材料中的残余应力（或外载应力)

●优点：

属于物理方法，不改变原始的应力状态

理论严谨

方法成熟

●缺点：

测定的是表面应力

对材料的表层状态比较敏感

●x射线应力测定的基本思路：

- 一定应力状态引起材料的晶格应变和宏观应变是一致的

- 晶格应变可以通过x射线衍射技术测出；宏观应变可根据弹性力学求得

- 从x射线法测得的晶格应变可推知宏观应力

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●应力公式中不包含无应力衍射角2θ，给应力测试带来方便。

●式中偏导数项，实际是2θ与sin2ψ关系直线的斜率，采用小二乘法进行线形回归，求解出该直线斜率，代入应力公式中即可获得被测的三个应力分量。

为了获得x轴方向正应力σx，射线应在φ=0°情况下以不同ψ角照射试样，测试出各ψ角对应相同(hki)晶面的衍射角2θ值

为了获得y轴方向正应力σy，射线应在φ=90°情况下进行照射，测试出各ψ角对应的晶面衍射角2θ值。为了获得切应力分量txy，需要分别在φ=0°、45°及90°情况下进行测试。在每个入射方位角φ下，必须选择两个以上ψ角进行测试。所选择角ψ的数量，视具体情况而定。

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根据弹性力学的理论，应变εφψ可表示为：式中e及v分别是材料的弹性模量及泊松比：如果x射线沿po方向入射，则εφψ还可表示为垂直于该方向(hkl)晶面间距改变量，根据布拉格方程，这个应变为：式中d0及2θ0分别是材料无应力状态下(hkl)晶面间距及衍射角。两个公式都表示应变εφψ，其中前者代表了宏观应力与应变之间关系，后者则是晶面间距的变化。

二者将宏观应力(应变)与晶体学晶面间距变化结合在一起，从而建立了x射线应力测试的理论基础。由于x射线穿透表面的---很浅，xrd倒易空间（rsm）检测平台，在测试厚度范围内可简化为平面应力问题来处理，xrd倒易空间（rsm）检测报告，此时σz=txz=tyz =0，可对公式进行简化：令前面两个公式相等，黑龙江xrd倒易空间（rsm）检测，简化后得到：令方位角φ分别为0°、90°及45°时，对上式简化，并对sin2ψ求偏导式中k称为x射线弹性常数或x射线应力常数，xrd倒易空间（rsm）检测服务，简称应力常数

这就是平面应力测试的基本公式，利用应力分量σx、σy和txy，实际上已完整地描述了材料表面的应力状态

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