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残余应力及其产生
1. 类内应力
在较大的材料区域(很多个晶粒范围)内几乎是均匀的。与第ⅰ类内应力相关的内力在横贯整个物体的每个截面上处于平衡。与相关的内力矩相对于每个轴同样抵消。当存在的物体的内力平衡和内力矩平衡遭到破坏时会产生宏观的尺寸变化。
2.第二类内应力
在材料的较小范围(一个晶粒或晶粒内的区域)内近乎均匀。与相联系的内力或内力矩在足够多的晶粒中是平衡的。当这种平衡遭到破坏时也会出现尺寸变化。
3.第三类内应力
在的材料区域(几个原子间距)内也是不均匀的。与相关的内力或内力矩在小范围(一个晶粒的足够大的部分)是平衡的。当这种平衡破坏时,不会产生尺寸的变化。
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载流子寿命就是指非平衡载流子的寿命。而非平衡载流子一般也就是非平衡少数载流子(因为只有少数载流子才能注入到半导体内部、并积累起来,多数载流子即使注入进去后也就通过库仑作用而很快地消失了),所以非平衡载流子寿命也就是指非平衡少数载流子寿命,xrd倒易空间(rsm)检测费用多少,即少数载流子寿命。例如,对n型半导体,非平衡载流子寿命也就是指的是非平衡空穴的寿命。
少子寿命是半导体材料和器件的重要参数。它直接反映了材料的和器件特性。能够准确的得到这个参数,xrd倒易空间(rsm)检测机构,对于半导体器件制造具有重要意义。少子寿命测试仪可以直接获得长硅的参数。
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薄膜样品在基底上以二维形式存在,通常在平行厚度方向或者面内方向具有---的各向---。因此,一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向,一个是沿厚度方向,xrd倒易空间(rsm)检测多少钱,另一个是面内方向(晶面垂直于宏观平面生长的方向)。我们对薄膜的表征包含晶格常数,晶格畸变,晶体取向以及晶粒尺寸等。此外,薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。
除上述外,x射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征,例如厚度,密度,粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。
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