半导体xrd研究所-黑龙江xrd薄膜检测

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    2023-4-30

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xrd即x-raydiffraction的缩写,x射线衍射,xrd薄膜检测分析,通过对材料进行x射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。x射 线是一种波长很短(约为20~0.06埃)的电磁波,能穿透一定厚度的物质,并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、*体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的x射线中,包含与靶 中各种元素对应的具有特定波长的x射线,称为特征(或标识)x射线。




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实际应用

●实验准备

?样品做---的清洗

?去加工应力

?确定衍射晶面。扫描样品在2θ=100-140°范围内的谱图,xrd薄膜检测,确定衍射晶面(峰背比较高,峰较窄,谱线平滑、衍射角高)

●实验设备

?同倾法:常规衍射仪,θ和2θ可单独转动即可。

?侧倾法:多功能样品台,样品可做ψ侧倾,好可绕自身法线转动,则可测不同方向的应力。●扫描图谱

?选择ψ角为0°,15°,25°,35°,xrd薄膜检测多少钱,45°

?选择侧倾法扫描

?电压40kv,电流40ma,cu辐射,步进扫描,黑龙江xrd薄膜检测,步长0.02°,计数时间4s




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xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质



一般对于薄膜材料,xrd能够做:掠入射(gixrd):    分析晶态薄膜物相,残余应力反射率测量(xrr):    对膜要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度掠入射小角散射(gisaxs):    分析薄膜的纳米结构.这个比较新.


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