半导体薄膜测试机构-香港---行政半导体xrd检测

半导体xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

薄膜应力作为半导体制程、mems微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，其测试的精度、重复性、效率等因素为业界所重点关注。对应产品目前业界有两种主流技术流派：1）以美国fsm、kla、toho为代表的双激光波长扫描技术（线扫模式），尽管是上世纪90年代技术，但由于其简单，适合常规fab制程中进行快速qc，至今仍广泛应用于相关工厂。2）以美国ksa为代表的mos激光点阵技术，抗环境振动干扰，精于局部区域内应力测量，这在研究局部薄膜应力均匀分布具有特定意义。线扫模式主要测量晶圆薄膜整体平均应力，监控工序工艺的重复性有意义。但在监控或精细分析局部薄膜应力，激光点阵技术具有特殊优势，比如在mems压电薄膜的应力和缺陷监控。

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fullprof精修中的 scale 的初值一般是怎么确定的?

比例因子 scale 是指理论计算数据与实验数据之间的比值，一般---给就可以，不会影响精 修的。只要你的初始模型正确，几轮就可以修到比较合理的值。

 做rietveld 时发现：如果事先对原始数据进行平滑等一系列的预处理会比较容易使r 因子 减小，这样的做法是否---？

做 rietveld 时，是不需要对数据进行平滑处理的，因为平滑处理肯定会使数据在一定程度上失真的。不过，在不影响峰形的前提下进行轻度的平滑处理也是可以的。