台湾xrd物相分析检测-半导体单晶xrd---

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    2023-3-30

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硅晶圆在不同退火制程下所产生的边缘缺陷差异[1]。

200mm硅晶圆在1270k的温度下快速退火的高分辨率x射线衍射成像的结果表明,晶体内部的热滑移源多与晶圆的边缘位置有关。位错源主要位于晶圆的边缘,由晶圆表面的斜边边缘(bevel edge)的损坏产生。少数的位错源与其他局部损坏的区域相关,与制程设备反应室的晶圆支架的突起有关。后者的几何类似于晶圆表面压痕产生的位错源几何。




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x射线衍射基本的应用就是鉴定物相。其它的应用都只有在物相鉴定完成以后才能做。那么物相是怎么鉴定出来的呢?

首先,x射线衍射方法只能证明一个物相的存在,而不能证明一个物相的不存在。

这是因为,x射线衍射强度是一个样品表面信息的统计结果。当一个物相的含量低于某一下限值(1%-10%左右,不同物相不同)时,xrd方法是不能检定一个物相的存在的。因此,如果你还想问“我的样品中有0.3%的zr,为什么在om,tem或sem中可以看到它的存在,为什么用xrd做不出来呢?”这样的问题,台湾xrd物相分析检测,说明你对xrd还不了解。

其次,并不是有了jade就能一定分析出是什么物相。

jade是一个pdf卡片的检索程序,通过给定的条件从pdf卡片库中检索出“基本上符合条件的物相卡片”。但,这些卡片可能---不是你的样品中存在的物相,因为有些物相并没有相应的pdf卡片。这时候,jade就---为力了。这时,你多可以检索出与实际物相结构相近的卡片。




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结晶度的计算实际上就是一种特殊的定量分析,其原理出自一个。知道怎么做定量,当然也会做结晶度的计算。

如果你还想知道得更多,比如无标样定量分析方法等等,可以参考李树棠老师的书,一本很老的书,我们当时的教材,叫做<金属x射线衍射与电子显微分析技术 1>在晶体之星可以到。后来,xrd物相分析检测服务,这本书叫做<晶体x射线衍射学基础>,冶金工业出版社出版,好象网上还没有电子版。也许书店有得卖。另外有一本叫做,冶金工业出版社出版。丘利,胡玉和编著。你如果有这本书, x射线衍射方面的事情都可以先问它。如果你想通过全谱拟合的方法来计算定量,你得有一台好衍射仪。很多人都是用同步辐射光源来做。也有人用中子衍射来做。理学电机的18kw衍射仪也能做,因为它的功率大。不过,在衍射仪上做一个这样的测量需要几小时或者十几小时。




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