xrd残余应力检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
一个峰能表达一个物相强度吗?
上面说到,一般使用物相强峰的峰高或者面积来表示这个物相的衍射强度。但是,真的对这样表示吗?如果你的样品是粉末,那么你知道粉末样品是什么形状的吗?
假如是完状的,那么,无论你怎么制备样品,结果都是无任何择优取向的。因此,用一个峰的强度就可以表述一个物相的强度。---的是,没有几种粉末是真正球状的。更多的是其它形状。
比如,石墨往往是片状的,有些虽然不是片状的,但也是有棱有角的,或者你可以将它们---为长方体,三角形等等。试想想,如果在样品的压片过程中,有人为的因素,比如抖动一下,结果会怎么样呢?粉末的排列是不是还会是完全无序的呢?肯定不是,它们总是会朝着“整齐”的姿态排列。这就是我们的不幸,因为粉末颗粒排列得越整齐,也就是它们越有序,越是我们所不期望的。
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假如我使用几种强度的表示方法来计算含量呢?
通过x射线衍射分析软件的“寻峰”功能。我们能得到衍射峰的峰高和峰面积,你不妨试试分别通过峰高和峰面积来计算物相的含量,然后再作个平均,也许会比单纯地使用峰高或峰面积来计算结果一些。你会做峰形拟合吗?
x射线衍射峰的线形总是一种“钟罩”形函数,或者说可以使用一种钟罩形函数来拟合。你可以选择不同的峰形函数来做峰的拟合,看看哪个的误差小,说明衍射峰能使用这种函数来拟合。拟合完成后,福建xrd残余应力检测,拟合函数的高度、宽度和面积就会列表出来。
这时,xrd残余应力检测实验室,你又得到一组强度数据,分别用高度和面积计算物相含量,会得到怎样的结果呢?当然也可以加入到前面的两种结果中,作一个4个结果的平均。这只是我的建议,并非一定要这么做。当衍射峰没有重叠,没有宽化,没有变形时,4种结果没有多少差别。只有当存在这些因素时,才会出现差别。如果峰形重叠,使用拟合能将重叠峰分离开来,以消除其它物相附加的强度,单纯的寻峰是不能做到这一点的。但是,拟合时要---注意背景线的取舍,xrd残余应力检测多少钱,拟合得不好可能会产生很大的误差。拟合峰数据用来计算一些粘土矿物的含量时,显得尤为有意义。因为这些物相的峰形往往不对称,矮而宽,底部拖得---宽,而且多有重叠。单纯的寻峰数据使物相含量的计算结果偏小。不过,用拟合数据计算出来的又往往偏高。两者中和一下,也许与真实的结果差不离了。
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尽管spike退火没有明显的滑移带,xrd残余应力检测哪里可以做, 高分辨率的x射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示,这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下,有非常明显的局部应变,;而另外一些情况下,没有明显的应变区域,。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形,沿着倾斜的{111}滑移面,依着平行于(100)晶圆表面的四个<011>; 方向,向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。
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