半导体单晶xrd----新疆维吾尔自治xrd倒易空间(rsm)检测

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    2023-3-2

王小姐
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这些方法主要包括两方面: 一种是需要标样的称为“有标法”。也就是说,xrd倒易空间(rsm)检测费用多少,除了要测的样品,需要往样品中加入某种纯物质。而这些个纯物质往往是不易求得的。

比如,某人在合成一种新物质,总是发现合成物中有各种各样的杂质,他希望计算一下不同条件下这种新物质的含量。实验方法要求他提供这种新物质的纯样品。而实际情况是,他如果得到了这种新物质的纯样品也就是他合成成功的那---,他还需要你来算个什么含量呢?

再举个例子,一位包工头发现,建的房子老是倒了,地基不行。因为地基里有含量---的蒙脱土一下雨就膨胀,房子就会倒。他需要了解这种土里的蒙脱土含量到底有多少,他便可以通过改性的办法来解决问题。虽然,要得到蒙脱土的纯物质对某些人来说(一般实验室还是很难的)还是可以的,通过离心等一些方法可以得到。但是,得到的纯物质也许与原样品中的该物质结构发生某些变化。这样虽然得到了纯物质,但是,由于结构的变化,使c也变了。计算出来的结果还是不准。而且,当实验员告诉包工头,虽然我们可以做,但是一则计算结果可能不是---确。二则经费需要很多时,包工头只能摇摇头,摆摆手,说声bbyebye了。



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衍射峰左右不对称是何原因?

衍射仪获得的衍射峰形(地说是衍射线的剖面,diffraction lineprofile)是不对称的, 尤其是在低角度区(2θ < 30°)表现更为明显。峰型不对称是由多方面的因素造成的,主要是衍射仪光路的几何因素、仪器的调整状况以 及样品的吸收性质等。

为什么有的 xrd data 中,有(200)(400)面,而没有基本的(100)面数据?或者有 (220)而没有(110)?

粉晶衍射不一定能出现所有的面网,很多物质的粉晶衍射都不一定出现(100)(110),这 与结构有关。晶体衍射有个叫消光的现象,晶体的消光规律决定于它的结构的对称性,不同的空间群 其消光规律不同。如果应该出现的衍射而没有出现,那就是样品的择优取向引起的。再者(100)面的角度比较低,有时是没有扫到或淹没在低角度的背景中了。




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尽管spike退火没有明显的滑移带, 高分辨率的x射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示,这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下,xrd倒易空间(rsm)检测报告,有非常明显的局部应变,;而另外一些情况下,没有明显的应变区域,。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形,沿着倾斜的{111}滑移面,依着平行于(100)晶圆表面的四个<011>; 方向,向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。

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