半导体xrd薄膜测试-xrd摇摆曲线检测分析

xrd摇摆曲线检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，xrd摇摆曲线检测，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

粉末衍射仪

粉末衍射仪是目前研究粉末的x射线衍射常用而又方便的设备。它的光路系统设计采用---光束型的衍射几何，一般使用普通的nai(tl)闪烁检测器或正比计数管检测器以电子学方法进行衍射强度的测量；衍射角的测量则通过一台精密的机械测角仪来实现。

 测角仪

是粉末衍射仪上精密的机械部件，用来测量衍射角。

 发散狭缝

测角仪上用来---发散光束的宽度。发散狭缝的宽度决定了入射x射线束在扫描平面上的发散角。

接收狭缝

测角仪上用来---所接收的衍射光束的宽度。接收狭缝是为了---待测角度位置附近区域之外的x射线进入检测器，它的宽度对衍射仪的分辨能力、线的强度以及峰高/背底比有着重要的影响作用。

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jade将衍射峰宽度大于3°的峰为非晶峰。通过衍射图谱的拟合，可以直接得到样品的结晶度。

在计算结晶度时，xrd摇摆曲线检测分析，同一系列的样品，应当选择相同的衍射角范围。

正确地分离晶相峰和非晶峰往往比较困难，xrd摇摆曲线检测报告，比较容易实现的方法是只用jade的“手动拟合”命令，而不使用自动拟合命令。拟合过程中，拟合的好坏并不能真实地从“r值”上表现出来，而应当仔细观察“误差放大线”的水平程度和光滑程度，越平越越光滑表明拟合得越好。不断地在不平直和不光滑的位置加入新的峰并进行拟合，终将得到一条拟合佳的曲线。

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