xrd物相分析检测-半导体xrd薄膜测试

xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

微区衍射仪

微区衍射仪是按平行光束型衍射几何设计的，使用特殊的大窗口闪烁检测器或环形窗口的正比检测器。工作时，xrd物相分析检测，检测器沿入射线方向移动，通过固定直径的环形狭缝对各衍射锥面的总强度依次地进行测量。由于它使用细平行光束，故能对样品的一个微区（直径可小至30μm）进行衍射分析。

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单晶xrd数据分析还可以用于确定晶体的形态。晶体的形态是由晶体结构和对称性所决定的，因此，通过单晶xrd数据分析得到的晶体结构和对称性信息可以提供有关晶体形态和生长机制的重要线索。

综上所述，单晶xrd数据分析在材料科学、化学、物理学和地球科学等领域中具有广泛的应用。它可以帮助研究人员理解物质的基本性质和特性，同时也可以用于合成新的材料和研究新的物理现象。因此，单晶xrd数据分析在现代科学研究中扮演着不可或缺的角色。

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