xrd掠入射(gixrd)检测报告-半导体xrd物相分析

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

步进扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式）。试样每转动一步（固定的δθ）就停下来，测量记录系统开始测量该位置上的衍射强度。强度的测量也有两种方式：定时计数方式和定数计时方式。然后试样再转过一步，再进行强度测量。如此一步步进行下去，河南xrd掠入射（gixrd）检测，完成角度范围内衍射图的扫描。　　

用记录仪记录衍射图时，采用步进扫描方式的优点是不受计数率表rc的影响，没有滞后及rc的平滑效应，xrd掠入射（gixrd）检测服务，分辨率不受rc影响；尤其它在衍射线强度极弱或背底---时---有用，在两者共存时更是如此。因为采用步进扫描时，可以在每个θ角处作较长时间的计数测量，xrd掠入射（gixrd）检测机构，以得到较大的每步总计数，从而可减小计数统计起伏的影响。　　

步进扫描一般耗费时间较多，因而须认真考虑其参数。选择步进宽度时需考虑两个因素：一是所用接收狭缝宽度，步进宽度至少不应大于狭缝宽度所对应的角度；二是所测衍射线线形的尖锐程度，步进宽度过大则会降低分辨率甚至掩盖衍射线剖面的细节。为此，步进宽度不应大于尖锐峰的半高度宽的1/2。但是，xrd掠入射（gixrd）检测报告，也不宜使步进宽度过小。步进时间即每步停留的测量时间，若长一些，可减小计数统计误差，提高准确度与灵敏度，但将损失工作效率。

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解决的办法通常有3种：

(1) 换一张卡片试试

所谓结构精修，即以的某种物相结构为“初始值”进行反复地迭代修正，逐步逼近测量峰的位置。当所选卡片的峰位与测量峰位偏离太多时，因为“初始值”离真实值太远了，无法精修下去。如换张卡片，也就是改变初始值，则更容易精修。因为，换卡片只是改变初始值，所以并不影响精修的结果。

(2) 选择all sible reflecti

如果样品为单相，则可以不进行物相检索，在寻峰或拟合后直接选用全部衍射峰进行精修。另外，有时虽然unable to graft hkl‘s to peaks，但还是出现了精修的界面，选择all sible reflecti进行精修是可行的。

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