半导体研究所-江苏xrd摇摆曲线检测

xrd摇摆曲线检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，xrd摇摆曲线检测实验室，以及行业应用技术开发。

应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试，只是对无粗晶和无织构的材料才有效，否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料，xrd摇摆曲线检测费用多少，必须采用特殊的方法或手段来进行测试，但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大，各晶面族对应的德拜环则不连续，当探测器横扫过各个衍射环时，所测得衍射强度或大或小，衍射峰强度波动很大，依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续，获得满意的衍射峰形，xrd摇摆曲线检测价格，必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此，对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪，都具备回摆法的功能。

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xrd分析与xrf分析的异同

1，用途不同。xrd是x射线衍射光谱，（x－ray diffraction ---ysis)是用于测定晶体的结构的，而xrf是x射线荧光发射谱，（x－ray fluorescence ---ysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般测定原子序数小于na的元素，定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。

2，原理上的差别：xrd是以x射线的相干散射为基础，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的；

xrf则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(z-s)，k，s是与线性有关的常数。因此，得出不同元素具有不同的x射线（即特征线）为基础对元素定性、定量分析的。

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