重庆大功率xrd检测-半导体xrd薄膜测试

大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，重庆大功率xrd检测，以及行业应用技术开发。

结构精修通常分为两个步骤：先通过标准样品的测量，校正仪器精度；然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。

仪器角度校正

选用标准硅样品，用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为：

(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后，大功率xrd检测平台，选择菜单“---yze-theta calibration  f5”命令，在打开的对话框中单击calibrate，显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。

(2) 单击“save curve”命令，将当前角度补正曲线保存起来。

(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样，当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。

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大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，大功率xrd检测测试，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

粉末衍射仪

粉末衍射仪是目前研究粉末的x射线衍射常用而又方便的设备。它的光路系统设计采用---光束型的衍射几何，大功率xrd检测报告，一般使用普通的nai(tl)闪烁检测器或正比计数管检测器以电子学方法进行衍射强度的测量；衍射角的测量则通过一台精密的机械测角仪来实现。

 测角仪

是粉末衍射仪上精密的机械部件，用来测量衍射角。

 发散狭缝

测角仪上用来---发散光束的宽度。发散狭缝的宽度决定了入射x射线束在扫描平面上的发散角。

接收狭缝

测角仪上用来---所接收的衍射光束的宽度。接收狭缝是为了---待测角度位置附近区域之外的x射线进入检测器，它的宽度对衍射仪的分辨能力、线的强度以及峰高/背底比有着重要的影响作用。

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