半导体xrd研究所-陕西algan材料xrd检测

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    2023-7-23

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xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction),利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征,经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相,并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷(位错)和晶格缺陷等。微区衍射(也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

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应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试,只是对无粗晶和无织构的材料才有效,否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料,必须采用特殊的方法或手段来进行测试,但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大,各晶面族对应的德拜环则不连续,当探测器横扫过各个衍射环时,所测得衍射强度或大或小,衍射峰强度波动很大,依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续,获得满意的衍射峰形,必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此,对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪,都具备回摆法的功能。

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用origin计算残余应力

?分别测量φ=0,15,algan材料xrd检测多少钱,25,35,45°的衍射谱;

?用jade5打开各个衍射谱,做拟合,得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件,再用origin绘制图谱做拟合,求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表;●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合,得到斜率m;●查找材料的弹性模量和泊松比,计算弹性常数k;

●按σ=km计算应力。

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