辽宁xrd晶粒尺寸检测-半导体单晶xrd---

xrd晶粒尺寸检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

定速连续扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式），常用。试样和接收狭缝以角速度比1:2的关系匀速转动。在转动过程中，检测器连续地测量x射线的散射强度，各晶面的衍射线依次被接收。计算机控制的衍射仪多数采用步进电机来驱动测角仪转动，因此实际上转动并不是严格连续的，而是一步一步地（每步0.0025°）跳跃式转动，在转动速度较慢时尤为明显。但是检测器及测量系统是连续工作的。连续扫描的优点是工作效率较高。例如以2θ每分钟转动4°的速度扫描，扫描范围从20～80°的衍射图15分钟即可完成，而且也有---的分辨率、灵敏度和度，因而对大量的日常工作（一般是物相鉴定工作）是非常合适的。但在使用长图记录仪记录时，记录图会受到计数率表rc的影响，须适当地选择时间常数。

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xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。在样品测试形态上，一般为干燥的粉末，块体或者薄膜结构。

技术特点

常规测试中，xrd更多地被用于对材料进行物相定性分析，xrd晶粒尺寸检测多少钱，而对于物相结构的定量分析而言，xrd一般只能检测样品含量在1%以上的物相，准确度一般为1%的数量级。

需要注意的是，xrd晶粒尺寸检测机构，xrd不能通过直接测量衍射峰的面积来求物相的含量。因为对于xrd图谱而言，其测定的衍射强度是经过试样吸收之后表现出来的，这意味着衍射强度还与吸收系数有关，而吸收系数又依赖于物相浓度。所以要测某个物相的含量，首先必须明确衍射强度、物相含量和吸收系数之间的关系。

常规定量分析方法有：外标法、内标法、k值法、直接对比法、绝热法等。目前，做物相定量分析可以利用reitveld结构精修的办法进行数学处理得出各物相的具体含量。一般不用xrd来分析体相元素含量，通常是用它来分析不同结构的含量。与其他技术相比，xrd可以用来区分具有相同元素但不同物相的物质，如锐钛矿tio2和金红石tio2。

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